[发明专利]温度调整装置在审
| 申请号： | 202010691295.7 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN112289670A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 莫云 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种温度调整装置，能够使第一面的面内的温度差变小。温度调整装置具有第一构件和流路。第一构件形成有被设为温度控制的对象的第一面。流路在第一构件的内部沿第一面形成，该流路的一端被设为用于导入传热介质的导入口，另一端被设为用于排出所述传热介质的排出口。流路形成为：与第一面之间的热阻随着从排出口去向导入口而增加。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 调整 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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