[发明专利]一种用于保护坩埚的半导体石墨板在审
| 申请号： | 202010670532.1 | 申请日： | 2020-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN111957367A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 陈永贵;张培林;武建军;柴利春;张作文;王志辉 | 申请（专利权）人： | 大同新成新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/04 | 分类号： | B01L3/04;B01L9/00;B01L7/00 |
| 代理公司： | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人： | 杨凯;连慧敏 |
| 地址： | 037002 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于保护坩埚的半导体石墨板，包括层板A和控制面板，所述层板A的顶部一端设置有层板B，所述层板A顶部一端的两侧设置有安装槽，所述层板A顶部一端的边缘位置处设置有出气口A，所述层板A顶部一端远离出气口A的边缘位置处设置有进气口A，所述进气口A的一侧设置有气管接头，且气管接头的一侧延伸至进气口A的内部，所述气管接头远离进气口A的一侧设置有气管，所述气管远离气管接头的一侧设置有鼓风机；本发明装置通过增加鼓风机进行鼓风，对石墨板进行散热，增加了石墨板散热的速率；通过石墨板第二层板设置的凹槽，使得坩埚放置在石墨板时，增加了防护机制，防止坩埚倾倒。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 保护 坩埚 半导体 石墨 | ||
【主权项】：
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