[发明专利]垂直结构微型发光二极管显示面板及其制造方法在审
| 申请号： | 202010628913.3 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN111863729A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 朱充沛;高威;朱景辉;胡威威;尹琳书 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/84 | 分类号： | H01L21/84;H01L33/62;H01L27/12;H01L27/15 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210033 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种垂直结构微型发光二极管显示面板的显示面板及其制作方法，制作方法包括如下步骤：S1：在底部背板上形成阵列分布的第一电极；S2：通过键合工艺使得垂直型微型二极管键合在底部背板的第一电极上；S3：沉积覆盖垂直型微型二极管的填充层；S4：首先对填充层进行曝光显影并形成位于垂直型微型二极管上的开口；然后沉积第一金属层，对第一金属层进行图案化形成位于开口内的第一导通电极和位于相邻两个第一导通电极之间的第二导通电极。本发明避免了高温及高压的动作，从而解决了以上的特性影响及半导体不良风险且降低了不良导致的背板高成本损失。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 结构 微型 发光二极管 显示 面板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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