[发明专利]一种STM-MBE联用系统有效
| 申请号： | 202010628311.8 | 申请日： | 2020-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN111876729B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 姚杰;单欢;毛亚会;翟晓芳;赵爱迪 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 顾炜 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种STM‑MBE联用系统，包括进样腔体、样品制备腔体、样品表征腔、支撑台以及烘烤系统。其中表征腔是直接购买的商用STM进样腔，可以实现在进样腔内很好的对样品进行解离、转移、以及沉积一些易污染真空的小分子。制备腔采用了预留下置圆形对称排列的窗口用于放置蒸发源，一次同时可以放置七个蒸发源，另外制备腔体采用了分子泵直接安装于离子泵后面的方式，可以实现分子泵对制备腔体的直抽，提高制备腔体的真空度，同时制备腔体预留了相比于以往的制备腔体，预留了更多的窗口，使其具有更多升级的空间，以及根据实验需要变化的可能性。烘烤系统，采用了外置进样腔的烘烤模式，且烘烤板采用双开门设计易于拆卸安装。具有更多的自我组装空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 stm mbe 联用 系统 | ||
【主权项】：
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