[发明专利]一种快速制备跨尺度三维微结构的方法有效
| 申请号： | 202010617813.0 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111913364B | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 孙洪波;胡志勇;陈岐岱 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 刘世纯 |
| 地址： | 130012 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种快速制备跨尺度三维微结构的方法，属于跨尺度器件增材制造技术领域，利用飞秒激光双光子聚合两步壳层扫描结合紫外曝光的方法实现百微米量级的大尺寸三维结构的快速制备。在分步曝光中，第一重曝光：通过飞秒激光直写扫描微结构外部轮廓，确定微结构的三维空间形貌，获得低粗糙度、高精度的结构表面；第二重曝光：在紧邻外部轮廓的内部扫描一层内部轮廓，内部轮廓阻止显影液渗透的聚合程度，保护内部未曝光树脂不被显影液去除，确保整个大尺寸三维微结构在显影的过程中不会坍塌变形；第三重曝光：利用高功率紫外光对显影后的三维结构进行整体曝光使结构内部未聚合的材料聚合，提高结构稳定性以及均匀结构整体折射率分布的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 制备 尺度 三维 微结构 方法 | ||
【主权项】：
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