[发明专利]基于金刚石钝化结构的高效散热氮化镓晶体管及其制造方法在审
| 申请号： | 202010615260.5 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111900140A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 郭怀新;郁鑫鑫;周建军;孔月婵 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | H01L23/367 | 分类号： | H01L23/367;H01L23/373;H01L23/31;H01L21/56 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 陈鹏 |
| 地址： | 210016 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于金刚石钝化结构的高效散热氮化镓晶体管及其制造方法，高效散热氮化镓晶体管结构设计自上而下依次包括金刚石钝化层、栅源漏功能层、势垒层、缓冲层及衬底；所述金刚石钝化层是多层结构，包含势垒保护层、种子层和导热层，具有高导热作用，有效降低氮化镓晶体管的结温；基于金刚石钝化结构的高效散热氮化镓晶体管实现的方法是采用低温金刚石生长钝化技术解决与器件传统工艺的兼容性。本发明的金刚石钝化结构的氮化镓基器件具有高效散热的能力的优点，可用于超大功率微波功率器件。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 金刚石 钝化 结构 高效 散热 氮化 晶体管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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