[发明专利]一种基于质量数据流形特征的制造过程异常监测方法

摘要

本发明公开的一种基于质量数据流形特征的制造过程异常监测方法，属于制造过程监控领域。本发明利用传感设备获取训练过程数据，考虑寻求数据方差最大低维表征，获取训练过程数据集的全局特征矩阵G；考虑局部结构的保持，利用基于流形距离的K近邻法划分邻域，获取训练过程数据集的局部特征矩阵L，将全局特征与局部特征相融合，获得降维矩阵P。融合机理模型与测量数据获得过程数据参考值后构建过程数据残差，根据过程数据残差计算监测统计量及其控制限。当发现异常后，结合预设的已知异常模式下的监测统计量，利用贝叶斯推断确定异常模式，实现异常分离，即基于质量数据流形特征实现制造过程异常监测。本发明具备客观性更强、准确性更高、更全面的优点。