[发明专利]一种多级行星旋转镀膜机构在审
| 申请号： | 202010600336.7 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN111676461A | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 闫海涛 | 申请（专利权）人： | 布勒莱宝光学设备（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京知汇林知识产权代理事务所(普通合伙) 11794 | 代理人： | 杨华 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多级行星旋转镀膜机构，包括第一级固定齿轮、行星转盘、第一级行星齿轮单元、第一级行星旋转传动装置、第一级行星旋转工作盘、第二级固定齿轮、第二级行星齿轮单元和第二级行星旋转工作盘，所述第二级固定齿轮与所述行星转盘固定连接，多个所述第二级行星齿轮单元固定于所述第一级行星旋转工作盘上且分布为均可与所述第二级固定齿轮啮合，所述第二级行星齿轮单元与所述第二级行星旋转工作盘可一体转动地连接。通过本发明，增加了被镀膜工件表面各点的运动轨迹维度，使得被镀膜工件表面各点在真空室内的运动所覆盖范围更广，提高了被镀膜工件表面的镀膜均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多级 行星 旋转 镀膜 机构 | ||
【主权项】：
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