[发明专利]冷却板和蒸镀装置在审
| 申请号： | 202010588182.4 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111575655A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 刘玉轩;李文星;赵栋;付佳;姜正文;李金库;范柳彬 | 申请（专利权）人： | 合肥维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/04 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230037 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明实施方式涉及蒸镀技术领域，公开了一种冷却板，包括：冷却板本体，所述冷却板本体包括第一表面；所述第一表面设置有凸起部、以及过渡部，所述过渡部位于所述凸起部边缘与所述冷却板本体的同侧边缘之间，且自所述凸起部边缘朝向所述冷却板本体的同侧边缘的方向上，所述过渡部垂直于所述第一表面的厚度逐渐减小。本发明提供的冷却板和蒸镀装置，提高蒸镀良率。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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