[发明专利]一种真空隔离阀及具有其的真空系统在审
| 申请号： | 202010576511.3 | 申请日： | 2020-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN111594659A | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 庞云玲;冯彪;张魁榜;马现刚;陈林 | 申请（专利权）人： | 川北真空科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | F16K31/122 | 分类号： | F16K31/122;F16K1/14;F16K1/32;F16K1/42;F16K41/00;F16K27/02;F16K41/04 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 102200 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种真空隔离阀及具有其的真空系统，属于真空阀门技术领域；真空隔离阀包括：阀体，具有适于连通在真空腔室的外侧壁上的开口端，阀体内滑动设置有适于通过开口端朝向真空腔室内伸入的阀板；阀座，适于设于真空腔室的内侧壁上，阀座上具有适于与真空腔室的通气孔进行连通的阀孔，阀孔适于与阀板配合进行封闭。本发明的阀板的移动空间为阀体以及真空腔室，阀板朝向和背离阀座移动实现对阀孔开合；阀板在移动过程中，不与外界接触，故不会扬起微尘，保证真空腔室内部的真空环境一直处于洁净状态，能够满足更高、更特殊的真空需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 隔离 具有 系统 | ||
【主权项】：
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