[发明专利]一种双远心镜头及数字投影光刻系统在审
| 申请号： | 202010568828.2 | 申请日： | 2020-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN111596532A | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 段辉高;胡跃强;宋强;王景;许恒深;马国斌;汪涛 | 申请（专利权）人： | 深圳珑璟光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B13/22 |
| 代理公司： | 深圳市六加知识产权代理有限公司 44372 | 代理人： | 孟丽平 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及光学设计技术领域，公开了一种双远心镜头，能够应用在数字投影光刻系统中，该双远心镜头包括：第一折射透镜组、光阑和第二折射透镜组；其中，所述第一折射透镜组包括从像面到所述光阑依次设置的：具有正光焦度的第一透镜、第二透镜、第三透镜和具有负光焦度的第四透镜；所述第二折射透镜组包括从所述光阑到物面依次设置的：具有负光焦度的第五透镜、以及、具有正光焦度的第六透镜、第七透镜和第八透镜，本发明实施例提供的双远心镜头具有很高的分辨率、大像方视场和很低的畸变，成像效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双远心 镜头 数字 投影 光刻 系统 | ||
【主权项】：
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