[发明专利]一种Mo-V-C-N复合涂层的制备方法有效
| 申请号： | 202010547803.4 | 申请日： | 2020-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN111534803B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 邱龙时;赵婧;潘晓龙;田丰;张思雨;张于胜 | 申请（专利权）人： | 西安稀有金属材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/58;C23C14/54 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 马小燕 |
| 地址： | 710016 陕西省西安市西安经济*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种Mo‑V‑C‑N复合涂层的制备方法，该方法包括：一、基片处理；二、安置Mo靶、V弧靶及基片，对真空室抽真空并加热；三、基片刻蚀；四、沉积形成Mo打底层；五、沉积形成Mo‑V缓冲层；六、沉积形成Mo‑V‑N过渡层；七、沉积形成Mo‑V‑C‑N本体层；八、真空退火处理；九、冷却得到表面具有Mo‑V‑C‑N复合涂层的基片。本发明通过对Mo‑V‑C‑N复合涂层的分层设置，形成了良好的成分过渡，确保与基片结合良好且避免了Mo‑V‑C‑N复合涂层开裂和剥落，制备的Mo‑V‑C‑N复合涂层组织均匀致密，硬度高，韧性好，摩擦系数低，耐磨性佳，在高温和低温下均具有润滑效果，适宜作为空间自润滑层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mo 复合 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
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