[发明专利]一种锑化铟单晶的制备方法及其装置有效

专利信息
申请号: 202010540297.6 申请日: 2020-06-12
公开(公告)号: CN111809229B 公开(公告)日: 2022-03-29
发明(设计)人: 黄幸慰;朱刘;狄聚青;易明辉;刘运连;何志达;尹士平;熊威 申请(专利权)人: 安徽光智科技有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B29/40
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 颜希文
地址: 239000 安徽省滁州市琅琊区琅琊经济*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明提供了一种锑化铟单晶的制备方法及其装置,涉及晶体的制备领域。本发明将锑化铟籽晶、锑化铟多晶以及三氧化二硼加入密闭容器中,再采用垂直布里奇曼法(VB法)进行晶体生长,制得锑化铟单晶,这样,晶体从熔体的底部开始生长,不会受到浮渣的干扰,且通过控制加热程序可实现晶体生长的自动化,相比Cz法,对拉晶工人工艺经验要求低,成品成功率高、位错密度低、质量稳定可控;通过在密闭容器的上方设置单独控温的加热区,能产生保温的效果,使物料能更准确地达到设定的温度,使所得晶体整体质量分布更均匀。
搜索关键词: 一种 锑化铟单晶 制备 方法 及其 装置
【主权项】:
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