[发明专利]一种内嵌拱形薄膜驱动的PMUT单元及其制备方法有效
| 申请号： | 202010537206.3 | 申请日： | 2020-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN111644362B | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 赵立波;郭帅帅;徐廷中;李支康;杨萍;李杰;赵一鹤;刘子晨;蒋庄德 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;B81C3/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 李鹏威 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种内嵌拱形薄膜驱动的PMUT单元及其制备方法，PMUT单元包括由上至下依次设置的振动薄膜、驱动层和衬底，驱动层包括支撑结构和驱动结构，衬底包括背腔、基底，其中背腔由驱动层和基底围合形成；驱动结构具有水平部分和多个拱形部分，拱形部分记为内嵌拱形驱动膜，内嵌拱形驱动层位于背腔正上方，水平部分下端面和基底上端面相接。该PMUT单元实现在振动薄膜面积相同情况下，提高谐振频率的目的，并使电极以及驱动层被密封在背腔中，与外界接触的只有起振动与支撑作用的振动薄膜，完全隔绝了PMUT芯片敏感元件部分与外界的直接接触，使PMUT更具耐久性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 拱形 薄膜 驱动 pmut 单元 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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