[发明专利]一种压电结构及压电装置有效
| 申请号： | 202010535547.7 | 申请日： | 2020-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN111682097B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 段炼;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;B81B7/02 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 任哲夫 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压电结构及压电装置，其中，包括基底、设于所述基底上方的第一导电层以及与所述第一导电层间隔的第二导电层，还包括位于所述基底上方的固定臂以及沿所述固定臂延伸的连接部，所述固定臂包括与所述第一导电层背离所述基底一侧固定连接的第一固定臂、与所述第二导电层背离所述基底一侧固定连接的第二固定臂以及连接所述第一固定臂和所述第二固定臂的悬臂，所述连接部依次沿所述第一固定臂、悬臂及第二固定臂延伸并电连接所述第二导电层和所述第一导电层。本发明通过设置悬臂，可避免依赖压电薄膜表面设置连接部。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 结构 装置 | ||
【主权项】：
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