[发明专利]一种升降基座有效
| 申请号： | 202010467981.6 | 申请日： | 2020-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN111485217B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 佘鹏程;龚俊;张双景 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 徐好 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种升降基座，包括基片盘、设于基片盘下方的升降杆及设于升降杆外周的导向套组件，还包括固定座、安装座及升降座，所述固定座与所述安装座之间连接有浮动接头，所述安装座上设有丝杆及用于带动丝杆旋转的驱动组件，所述升降杆与所述升降座固定连接，所述升降座上设有丝杆螺母，所述丝杆与所述丝杆螺母相连。本发明具有结构简单、可靠，升降运动可控等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 升降 基座 | ||
【主权项】：
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