[发明专利]一种基于MEMS麦克风阵列的光声池及光声光谱传感器在审
| 申请号： | 202010460208.7 | 申请日： | 2020-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN111707619A | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 陶继方;刘俊彦;许峥 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G01N21/03;G01N29/02;G01N29/22 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 刘娜 |
| 地址： | 250013 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS麦克风阵列的光声池及光声光谱传感器，光声池包括光声池外壳和位于光声池外壳顶部的窗口片，所述光声池外壳内底部设置底座，所述底座上设置MEMS麦克风阵列，所述底座与窗口片之间填充有标准气体，所述底座底部设有伸出光声池外壳的电极；声光谱传感器包括MEMS红外光源、检测气室和光声池，所述检测气室位于MEMS红外光源和光声池之间。本发明所公开的光声池及光声光谱传感器采用MEMS麦克风阵列作为压力传感器件，可以降低噪声的影响，放大有效信号，实现高精度、高信噪比气体浓度检测效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 麦克风 阵列 光声池 声光 传感器 | ||
【主权项】：
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