[发明专利]一种光学检测系统和光学检测方法在审
| 申请号： | 202010430050.9 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN113702397A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;黄有为;张龙 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01;G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 姚璐华 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光学检测系统和光学检测方法，包括：照明组件，被配置为向待测对象发射检测光束，检测光束经待测对象表面散射、反射形成信号光；检测组件用于收集信号光，并形成第一信号光和第二信号光，形成第一信号光的信号光传播方向与形成第二信号光的信号光传播方向关于检测光束的入射面对称；或者，检测组件还包括分光组件，其将信号光分成第一信号光和第二信号光；检测组件包括第一检测装置和第二检测装置；分别接收第一信号光和第二信号光，并根据第一信号光获得第一检测信息，根据第二信号光获得第二检测信息；处理系统根据第一检测信息和第二检测信息获取待测对象表面待检出目标的尺寸；通过以上设置，扩大了检测范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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