[发明专利]一种图案化硅结构的制备方法及硅基光伏电池

摘要

本发明提供了一种图案化硅结构的制备方法及硅基光伏电池。该制备方法包括：提供一非抛光的硅基底和一具有预设图案的灰度图；按照预设图案设定待显示在硅基底上的像素点阵列，每个像素点由待刻蚀在硅基底上的绒面结构所形成的待刻蚀区和未刻蚀绒面结构的未刻蚀区按照预定比例组成；根据硅基底和绒面结构的光学参数确定像素点的尺寸以及确定将待刻蚀区和未刻蚀区中哪个区域作为像素点的中心区域；获得灰度图的灰度值与像素点的中心区域边长之间的关系；将灰度图的灰度矩阵按照转换关系转换为待显示在硅基底上的像素点阵列组成的结构图形；利用结构图形制作获得光刻掩模板；利用光刻掩模板按照图案化工艺在硅基底上刻蚀出与灰度图对应的图案。