[发明专利]非导电性薄膜及其制备方法、镀膜基材有效

专利信息
申请号: 202010425223.8 申请日: 2020-05-19
公开(公告)号: CN111763915B 公开(公告)日: 2022-09-06
发明(设计)人: 俞峰;来华杭;王正安;杨德隆;周海龙 申请(专利权)人: 浙江上方电子装备有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/18;C23C14/16;C23C14/08
代理公司: 杭州合信专利代理事务所(普通合伙) 33337 代理人: 沈自军
地址: 312366 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 本申请公开了一种非导电性薄膜及其制备方法、镀膜基材,其中,非导电性薄膜包括光学层以及用于保护光学层的保护层,所述光学层包括依次叠加的第一光学层、第二光学层以及第三光学层,其中:所述第一光学层为WO3薄膜层或者Nb2O5薄膜层,使用状态下所述第一光学层附着于基底材料;所述第二光学层为Si薄膜层;所述第三光学层为InSn薄膜层,所述保护层附着于所述第三光学层。本申请提供的非导电性薄膜及其制备方法、镀膜基材,薄膜具有非导电性,不会带来电容干扰/屏蔽信号等不良反应;薄膜以及镀膜基材呈现金色/玫瑰金,颜色效果能达到要求;且非导电性薄膜的制备方法简单易实现。
搜索关键词: 导电性 薄膜 及其 制备 方法 镀膜 基材
【主权项】:
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