[发明专利]超导转变边沿探测器多层超导薄膜制备方法及探测器在审
| 申请号： | 202010418817.6 | 申请日： | 2020-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN111640854A | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 徐骁龙;李劲劲;王雪深;钟青;徐达;陈建;钟源;曹文会;王仕建 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | H01L39/02 | 分类号： | H01L39/02;H01L39/24;C23C14/35;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 颜潇 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种超导转变边沿探测器多层超导薄膜制备方法及探测器，采用溅射沉积的方式，并根据金属合金靶材的本身热扩散程度较小的特点，设置溅射气压设置、溅射功率，可以使得第一薄膜层成膜密度更高、成膜均匀性更好。由于第一薄膜层为金属合金层，原子间不易扩散，使得本身热扩散程度较小，进而避免了金属合金层和超导薄膜层的相互热扩散，使得超导薄膜层与金属合金层形成的界面为比较清晰的界面，进而有助于超导效应的发挥，保证了超导转变边沿探测器的长期稳定性。由于避免了金属合金层和超导薄膜层的相互热扩散，制备时不会受到热处理等步骤的影响，仍然可以确保超导薄膜层与金属合金层形成的界面为比较清晰的界面。 | ||
| 搜索关键词： | 超导 转变 边沿 探测器 多层 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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