[发明专利]一种抛光头及抛光装置在审
| 申请号： | 202010417796.6 | 申请日： | 2020-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN111451928A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 丁彦荣;张月;杨涛;卢一泓;刘青 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 赵永刚 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种抛光头及抛光装置，该抛光头用于将晶圆保持在抛光平台上。该抛光头包括壳体、及与壳体连接的限位环，限位环环绕于晶圆的四周以限位晶圆。还包括位于限位环内的托架，托架上设置有抵压在晶圆表面的背膜。且托架沿第一方向滑动装配在壳体上。该抛光头还包括驱动托架相对壳体沿第一方向滑动的驱动装置。通过采用托架沿与限位环的轴线平行的方向滑动装配在壳体上的方式，并设置驱动装置驱动托架相对壳体沿限位环的轴线方向滑动，可以在限位环磨损较为严重时，通过驱动装置驱动托架沿远离晶圆方向移动，将托架与晶圆表面之间的间距保持在合理范围内，使晶圆与托架之间的间距不因限位环的磨损而减小，防止晶圆边缘过度抛光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司，未经中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010417796.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种计算机系统用集成板磨边加工系统
- 下一篇：一种钻孔用的PCB板随行板
