[发明专利]一种槽孔内壁表面材料去除加工的方法

摘要

本发明公开了一种槽孔内壁表面材料去除加工的方法，其所采用的槽孔内壁表面材料去除加工机构包括：第一扩束镜镜片、第二扩束镜镜片、光束整形元件、第一光束偏转元件、第二光束偏转元件、聚焦系统、反射元件和运动平台,本发明涉及激光微加工技术领域。该槽孔内壁表面材料去除加工的方法,可实现通过采用偏转角度的激光束进行槽孔内壁表面的加工，能够对大深径比的槽孔进行加工,可实现对激光束的能量分布进行整形，使聚焦在待加工元件的光斑能量均匀分布，有利于待加工边界区域的物质对激光能量吸收的稳定性，提高加工精度,同时在加工时，可以实现任意图形的加工以及任意位置的控深加工。