[发明专利]一种用于半导体吸收式光谱测温的信号处理方法及系统有效
申请号: | 202010317680.5 | 申请日: | 2020-04-21 |
公开(公告)号: | CN111323143B | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | 张文松;周航 | 申请(专利权)人: | 西安和其光电科技股份有限公司 |
主分类号: | G01K11/00 | 分类号: | G01K11/00 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 汪海艳 |
地址: | 710119 陕西省西安市高新区新*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明属于光纤测温技术领域,具体涉及一种半导体吸收式光谱测温的信号处理方法及系统。为了克服利用现有信号处理方法获得的温度数据误差较大的问题,主要包括设置吸收时间、测量吸收光谱、选取特征数据点、选取吸收边波形、判断波形幅值、归一化处理、求解吸收边波长及查表输出温度值的步骤,在消除背景误差的吸收光谱曲线的基础上,通过PID控制积分时间,可以将吸收边光谱精确地控制在一定范围内,优化了吸收边波长的计算精度,间接提高了温度解调精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 半导体 吸收 光谱 测温 信号 处理 方法 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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