[发明专利]一种微镜装置及其制备方法在审
| 申请号： | 202010315540.4 | 申请日： | 2020-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN113534442A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 马宏 | 申请（专利权）人： | 觉芯电子（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市滨湖区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供一种微镜装置及其制备方法，该微镜装置包括衬底层、第一掩埋层和器件结构层，衬底层、第一掩埋层和器件结构层依次层叠连接；器件结构层包括可动结构，可动结构包括可动镜面和驱动板；可动镜面的正面和驱动板上均设有减重部，可动镜面的背面设有金属反射层；衬底层上设置有背腔结构，背腔结构能够为可动结构提供运动空间；第一掩埋层上设有通光区域，背腔结构和通光区域能够将金属反射层暴露在外。本申请提供的微镜装置能够通过减轻可动结构的质量减小MEMS微镜系统的振子质量和扭转轴劲度系数，保证镜面的谐振频率不变，即器件的可靠性不变，同时，使镜面在相同的驱动电压下实现更大的运动幅度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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