[发明专利]一种压电式MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202010300029.7 | 申请日： | 2020-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN111405441B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 段炼;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R7/18 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 袁文英 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及声电转换的技术领域，提供了一种压电式MEMS麦克风，包括：具有背腔的基底和压电振膜，压电振膜包括悬置部和与基底连接的基底固定部，压电振膜还包括连接基底固定部和悬置部的支撑部，悬置部通过支撑部悬置于背腔上方，压电式MEMS麦克风还包括限位结构，悬置部包括与限位结构沿振动方向的投影范围重叠的中部膜，限位结构与中部膜形成压电振膜的固定结构。压电振膜在氧化层释放之后，在压电振膜内残余应力的作用下，中部膜向上或向下进行形变，并与对应的限位结构连接，以完全释放应力和梯度应力。应用本技术方案解决了现有技术中膜片由于加工工艺过程中的应力分布不均导致形变不一，进而影响麦克风的灵敏度等性能的一致性的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瑞声声学科技（深圳）有限公司，未经瑞声声学科技（深圳）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010300029.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
