[发明专利]用于通过多个带电粒子分束来检查样品的带电粒子束装置

摘要

本发明涉及用于通过多个带电粒子分束来检查样品的带电粒子束装置。所述带电粒子束装置包含用于保持样品的样品保持器，用于产生带电粒子的束的源，以及用于将带电粒子的所述束转换成多个带电粒子分束并将所述多个带电粒子分束聚焦到所述样品上的照射器。此外，提供了一种用于检测响应于所述多个带电粒子分束的所述辐射而从所述样品发出的辐射的通量的检测器组件。如本文中所定义的，所述带电粒子束装置被布置成用于将所述多个带电粒子分束以基本上1D图案引导到所述样品上，其中所述基本上1D图案形成基本上2D几何形状的边缘的一部分。此外，所述检测器组件包括以相应的基本上1D图案布置的多个检测器单元。