[发明专利]一种用于激光加工的表面自动聚焦方法及系统、存储介质有效

专利信息
申请号: 202010230274.5 申请日: 2020-03-27
公开(公告)号: CN111390377B 公开(公告)日: 2021-08-20
发明(设计)人: 林瀚;郑金传;贾宝华 申请(专利权)人: 伊诺福科光学技术有限公司
主分类号: B23K26/046 分类号: B23K26/046;B23K26/70
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 张建
地址: 澳大利亚维多利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及激光加工技术领域,公开了一种用于激光加工的表面自动聚焦方法及系统、存储介质。所述方法包括:在预设行程范围内,沿光轴方向调整显微镜头与待加工件的相对位置;在调整过程中,实时采集待加工件的图像并根据图像实时检测反射光或者荧光的强度;根据反射光或者荧光的强度检测数据确定反射光最强位置或者荧光起始位置。本发明通过扫描反射光或者荧光的强度,实现了将激光焦点快速及准确地调整至待加工表面的目的,有效提升了加工成功率、加工品质和加工精度,且实现方案经济高效。
搜索关键词: 一种 用于 激光 加工 表面 自动 聚焦 方法 系统 存储 介质
【主权项】:
暂无信息
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