[发明专利]一种重离子束流均匀度测试系统和方法有效
| 申请号： | 202010212346.3 | 申请日： | 2020-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN111366968B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 蔡畅;贺泽;柯凌云;刘杰;赵培雄;刘建德;李立轩;牛晓阳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29;G11C29/56 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 冀志华 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种重离子束流均匀度测试系统和方法，该系统包括SRAM测试芯片、单粒子效应测试系统以及重离子辐照终端；SRAM测试芯片作为研究重离子束对器件造成的单粒子翻转效应的载体，设置在单粒子效应测试系统中；重离子辐照终端设置在SRAM测试芯片一侧，且重离子辐照终端的束流窗口与SRAM测试芯片对准，用于为SRAM测试芯片提供预设注量率的重离子；单粒子效应测试系统与SRAM测试芯片之间建立实时通讯，用于对重离子辐照后的SRAM测试芯片上发生单粒子翻转效应的情况进行实时读取，并根据实时读取结果获得重离子辐照终端输出的重离子均匀度。本发明可以广泛应用于重离子束均匀度测试领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子束 均匀 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
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