[发明专利]一种测试灵敏方向可调的GMR磁场传感器及制备方法在审
| 申请号： | 202010197191.0 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN111430535A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 刘明;王志广;胡忠强;苏玮 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H01L43/02 | 分类号： | H01L43/02;H01L43/08;H01L43/12;G01R33/00;G01R33/09 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 贺小停 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种测试灵敏方向可调的GMR磁场传感器及制备方法，包括第一导电材料、第二导电材料、第三导电材料、基底和磁阻条；四个第一导电材料成四宫格状分布在基底表面；若干磁阻条平行等间距设置，相邻的两个磁阻条之间的端部通过第二导电材料连接，使若干磁阻条形成S型串联结构；相邻的第一导电材料之间均设置有S型串联结构，形成惠斯通电桥，S型串联结构端部的磁阻条与第一导电材料连接。本发明通过磁电耦合效应实现了一种灵敏方向可调的新型GMR磁场传感器，利用在压电基底上施加不同的电压改变自由层的磁化方向，最大可以实现探测方向90°调控。保证了在更多工程场景下的应用，可以提高传感器的性能表现，提高传感器的工作效率和应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 灵敏 方向 可调 gmr 磁场 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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