[发明专利]镀膜用容器在审
| 申请号： | 202010180470.6 | 申请日： | 2020-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN111188015A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 苏朋;杨国文;宋院鑫;张松涛;赵卫东 | 申请（专利权）人： | 度亘激光技术(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 付兴奇 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种镀膜用容器，涉及镀膜用具的技术领域。本申请的镀膜用容器包括坩埚和衬锅，坩埚具有坩埚底盘和设于坩埚底盘的坩埚边框，坩埚边框围成坩埚容置空间；衬锅具有衬锅底盘和设于衬锅底盘的衬锅边框，衬锅设于坩埚容置空间中；其中，在装配状态下，坩埚底盘与衬锅底盘贴合，坩埚边框与衬锅边框之间留有间隙。本申请通过坩埚边框与衬锅边框之间设置间隙，从而减小产生的电极黑点数，甚至不会产生电极黑点，增强了保温效果，减小了所需功率，延长了衬锅的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 容器 | ||
【主权项】：
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