[发明专利]一种铌酸锂微环与波导集成器件及其制备方法有效
| 申请号： | 202010171007.5 | 申请日： | 2020-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN111367013B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 程亚;方致伟;王哲;汪旻 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/13 |
| 代理公司： | 上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙) 31215 | 代理人： | 徐筱梅;张翔 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铌酸锂微环与波导集成器件及其制备方法，利用化学机械抛光技术将两片铌酸锂薄膜基片上的微环和波导分别进行抛光减薄，再将这两片铌酸锂薄膜基片对齐贴合并用胶水固化，进而实现铌酸锂微环与波导集成器件。本发明基于化学机械抛光工艺的铌酸锂微环与波导集成器件具有空间形状可任意设计、尺寸可调、稳固集成的特点，在光信号处理、精密测量、非线性光学和量子光学等高科技领域具有很大应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铌酸锂微环 波导 集成 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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