[发明专利]质量分离器有效
| 申请号： | 202010166744.6 | 申请日： | 2020-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN111755301B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 高嶋大树;西村一平 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/05 | 分类号： | H01J37/05;H01J37/30;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种质量分离器，课题在于可在不使作业变得繁重下进行束路径的清扫等维护。本发明为一种对离子束(IB)进行质量分离的质量分离器(100)，该质量分离器具备：移动机构(30)，用以使属于包围束路径(L)的由磁性体所构成的磁轭(13)的构成要素的位于束路径(L)的上方、下方或侧方的上部磁轭(13a)、下部磁轭(13b)或侧方磁轭(13c、d)的至少任一者，于离子束(IB)的行进中的通常位置(P)与不和通常位置(P)的至少一部分重叠的退避位置(Q)之间移动。 | ||
| 搜索关键词： | 质量 分离器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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