[发明专利]一种超高纯铜铸锭缺陷消除方法在审
| 申请号： | 202010165745.9 | 申请日： | 2020-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN111218630A | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;慕二龙 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C22F1/08 | 分类号： | C22F1/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超高纯铜铸锭缺陷消除方法，所述方法包括：将超高纯铜铸锭进行热等静压处理；其中，所述超高纯铜铸锭采用真空感应方法熔炼。通过本发明提供的方法可以消除高纯铜铸锭中的缺陷，从而有助于改善溅射速率以及膜厚的均匀性，进而保证超高纯铜靶材产品溅射过程性能稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 铸锭 缺陷 消除 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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