[发明专利]一种自动上下料单台面双工位曝光机在审
| 申请号： | 202010151962.2 | 申请日： | 2020-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN111273521A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 张雷 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自动上下料单台面双工位曝光机，包括曝光系统、基板承载台、多轴运动系统、上料缓存工位、下料缓存工位、第一上料搬运组件、第二上料搬运组件、第一下料搬运组件和第二下料搬运组件，上料缓存工位与下料缓存工位分别位于基板承载台的两侧，基板承载台上设置有第一工位和第二工位，第二上料搬运组件和第一下料搬运组件搬运第一工位上的基板，第一上料搬运组件和第二下料搬运组件搬运第二工位上的基板。本发明与普通单台面技术相比，可以进行两块基板的同时上料和下料，极大提升了单机设备产能，上料缓存工位和下料缓存工位仅需容纳一块基板，减少了缓存工位的数量减少，大大降低了设备占地面积，提高了空间利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 上下 台面 双工 曝光 | ||
【主权项】：
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