[发明专利]一种基于表面等离激元增强的金属氧化物气体传感器有效
| 申请号： | 202010150034.4 | 申请日： | 2020-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN111272825B | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 刘黎明;迟锋;易子川;王红航;杨健君 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学中山学院 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 重庆萃智邦成专利代理事务所(普通合伙) 50231 | 代理人： | 舒梦来 |
| 地址： | 528402 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于表面等离激元增强的金属氧化物气体传感器，包括基底层、叉指电极层、金属氧化物层,所述金属氧化物层的上方设置有贵金属颗粒，贵金属颗粒的上方还设置有金属氧化物颗粒；通过在金属氧化物的上方设置贵金属颗粒，通过光激发出强烈的电子振荡，并在贵金属颗粒附近形成强电场，有利于将金属氧化物附近的氧气分子变成氧负离子，电阻剧烈增加；当待测气体与传感器接触时，金属氧化物自由电子浓度剧烈增加，电阻剧烈降低。通过检测电阻的变化，就可以实现气体分子的探测；该基于表面等离激元增强的金属氧化物气体传感器具有下列优点：结构简单，对气体分子检测灵敏度高，特别是甲醛、甲醇等分子检测的灵敏度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 表面 离激元 增强 金属 氧化物 气体 传感器 | ||
【主权项】：
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