[发明专利]射频前端声波谐振器在审
| 申请号： | 202010148821.5 | 申请日： | 2020-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN113364425A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 陈真;刘晓军;韩娜 | 申请（专利权）人： | 合肥先微企业管理咨询合伙企业（有限合伙）;合肥尔微企业管理咨询合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H9/15 |
| 代理公司： | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人： | 李佳俊;郭国中 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市庐*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种射频前端声波谐振器，包括：衬底1、底电极2、压电层3、上电极4和空气腔体8；所述空气腔体8由所述衬底1和所述压电层3包围形成，所述底电极2位于所述压电层3的内侧，所述上电极4位于所述压电层3的外侧，所述上电极4包括多个梳状排列的上电极单元。本发明通过采用梳状上电极结构，从而可以改变梳状电极的宽度，进而调节压电谐振器的频率。本发明提出的压电谐振器可以在单片基底上实现多个谐振频率，从而使得本发明具有灵活、方便地调节谐振器频率等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 前端 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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