[发明专利]一种霍尔离子源装置在审
| 申请号： | 202010135773.6 | 申请日： | 2020-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN111081510A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 王伟;卢成 | 申请（专利权）人： | 成都国泰真空设备有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/14 | 分类号： | H01J27/14 |
| 代理公司： | 成都其高专利代理事务所(特殊普通合伙) 51244 | 代理人： | 廖曾 |
| 地址： | 611130 四川省成都市温江*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及离子源技术领域，具体而言，涉及一种霍尔离子源装置，包括：壳体、磁钢、冷却板、导热板和阳极件。将导热板可拆卸式连接于阳极件与冷却板之间。当导热板损坏时，只需对导热板进行更换，无需对冷却板和阳极件进行更换，如此，能够方便对导热板、阳极件和冷却板进行拆卸和更换，从而极大地降低维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 霍尔 离子源 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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