[发明专利]晶圆转载机构的机械臂校准装置及其校准方法在审
| 申请号： | 202010102259.2 | 申请日： | 2020-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN113276104A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 宋茂炎 | 申请（专利权）人： | 总督科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/16 | 分类号： | B25J9/16;B25J19/00;G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 顾浩 |
| 地址： | 中国台湾新竹县*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种晶圆转载机构的机械臂校准装置及其校准方法，在第一机械臂活动端上设有影像攫取组件及晶圆定位件装卸机构，影像攫取组件具有上取像组件，晶圆定位件装卸机构具有定位刻度，在第二机械臂的活动端上设有晶圆取放机构，晶圆取放机构上设有指示刻度，主校正机构具有下取像组件，下取像组件上方设有具标准刻度的透明片；上、下取像组件分别对该标准刻度取像，可校正该影像攫取组件，并建立该第一机械臂的基准点坐标；下取像组件透视该定位刻度的位置影像，可校正该晶圆定位件装卸机构，并计算出该影像攫取组件及晶圆定位件装卸机构之间的相对坐标；该下取像组件透视该指示刻度的位置影像，可校正该晶圆取放机构，并建立该第二机械臂的基准点坐标。 | ||
| 搜索关键词： | 转载 机构 机械 校准 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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