[发明专利]带电粒子束描绘装置及带电粒子束描绘方法

摘要

本发明涉及带电粒子束描绘装置及带电粒子束描绘方法。本发明的一个形态的带电粒子束描绘装置具备：描绘部，使用带电粒子束，对基板的表面描绘图案；测定部，测定上述基板的中央部的多个部位的表面高度；制作部，用第1多项式对上述测定部的测定值进行拟合，通过使用了该第1多项式的外推插值，计算上述基板的周缘部的表面高度的第1高度分布，用比该第1多项式高次的第2多项式对该测定值进行拟合，通过使用了该第2多项式的内插插值，计算上述中央部的表面高度的第2高度分布，将该第1高度分布与该第2高度分布结合，制作该基板的高度分布；控制部，基于根据上述基板的高度分布计算出的描绘位置的表面高度，调整上述带电粒子束的焦点位置。