[发明专利]蒸镀掩模、蒸镀掩模装置及其制造方法、中间体、蒸镀方法及有机EL显示装置的制造方法在审
| 申请号： | 202010076841.6 | 申请日： | 2020-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN111485194A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 池永知加雄 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 邓毅;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供蒸镀掩模、蒸镀掩模装置及其制造方法、中间体、蒸镀方法及有机EL显示装置的制造方法。蒸镀掩模具备掩模主体和接合于掩模主体的支承体。掩模主体具有第1校准标识，支承体具有第2校准标识。第1校准标识和第2校准标识被设置于在俯视时互相重合的位置，并且它们中的任意一方比另一方大。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 装置 及其 制造 方法 中间体 有机 el 显示装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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