[发明专利]一种用于等离子体正时点火的微型离子源在审
| 申请号： | 202010068332.9 | 申请日： | 2020-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN111163580A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 陈卫东;朱仁丽;李辉;薛康佳;吕永佳 | 申请（专利权）人： | 散裂中子源科学中心;中国科学院高能物理研究所 |
| 主分类号： | H05H1/52 | 分类号： | H05H1/52 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 李盛洪 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区总部*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于等离子体正时点火的微型离子源，包括底座，嵌套在底座上的阳极，装设在阳极一侧的阴极，装设在阳极与阴极之间的迷宫隔离陶瓷层，套设在阴极外壁与底座密封连接的绝缘外罩，所述绝缘外罩与阴极密封连接，所述阴极的内部为真空室，所述阴极的一侧设置有与真空室相连通的注气孔，所述迷宫隔离陶瓷层上设置有第一等离子体引出孔，所述阳极上设置有第二等离子体引出孔，所述第二等离子体引出孔的尺寸略小于第一等离子体引出孔，所述底座上设置有中孔，所述阴极的放电极材质为金属铪、金属钽或金属钛，其具有溅射产额小、点火迅速、点火定时精确稳定、结构简单紧凑、具有防水功能、使用寿命长的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 等离子体 正时 点火 微型 离子源 | ||
【主权项】：
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