[发明专利]一种小粒径硅溶胶及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202010066229.0 申请日: 2020-01-20
公开(公告)号: CN111196605B 公开(公告)日: 2021-10-15
发明(设计)人: 曹恒;张奶玲 申请(专利权)人: 西安通鑫半导体辅料有限公司
主分类号: C01B33/141 分类号: C01B33/141;C01B33/148
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 孟大帅
地址: 710300 陕西省西安*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种小粒径硅溶胶及其制备方法,包括以下步骤:配置获得质量百分比浓度为1%~10%的碱溶液;向获得的碱溶液中加入分散剂,获得溶液A并加热升温到40~80℃;将硅源粉碎成纳米级颗粒,通过酸洗去除金属和有机杂质,然后用去离子水清洗至PH为6.5~7.5,获得精制后的硅源并加入溶液A中;反应液中硅含量不变时为反应终点,过滤得到小粒径硅溶胶稀溶液并加入吸附剂,过滤去除硅溶胶溶液中的色素和分散剂,获得精制的硅溶胶稀溶液;其中,所述小粒径硅溶胶的粒径小于等于8纳米;将精制的硅溶胶稀溶液进行浓缩,浓缩终点为硅溶胶水溶液的固含量为25%~30%。本发明的方法能够制备粒径小于等于8纳米,固含量达到25%~30%的硅溶胶。
搜索关键词: 一种 粒径 硅溶胶 及其 制备 方法
【主权项】:
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