[发明专利]复合带电粒子束装置和控制方法有效
| 申请号： | 202010064843.3 | 申请日： | 2020-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN111584335B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 杉山安彦;广濑菜绪子;大庭弘 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/21 | 分类号： | H01J37/21;H01J37/24;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄志坚;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供复合带电粒子束装置和控制方法，能够根据会聚离子束的期望的加速电压来设定会聚离子束的射束助推器的电压的值。复合带电粒子束装置具有：离子供给部，其供给离子束；加速电压施加部，其通过向离子供给部所供给的离子束施加加速电压，而使离子束加速；第1会聚部，其使离子束会聚；射束助推电压施加部，其向离子束施加射束助推电压；第2会聚部，其使离子束会聚而向试样照射；电子束照射部，其向试样照射电子束；以及控制部，其根据如下设定值设定射束助推电压施加部向离子束施加的射束助推电压的值，该设定值是根据加速电压施加部向离子束施加的加速电压的值和会聚后的离子束的焦距而预先确定的。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 带电 粒子束 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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