[发明专利]狭缝阀及晶圆处理系统在审
| 申请号： | 202010054890.X | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN113137488A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 蒋鎭宪;徐康元 | 申请（专利权）人： | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | F16K3/02 | 分类号： | F16K3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 叶乙梅 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种狭缝阀，包括组合形成供产品通过的通道的第一壳体及第二壳体，第一壳体朝向通道的表面开设有第一凹槽，第二壳体背离通道的表面开设有第二凹槽；具有基台的升降组件；第一隔板，其设置于基台上，以随着升降组件移动；第一密封件，其设置于第一隔板远离基台的端部；第二密封件，其设置于基台上，在狭缝阀关闭时，第一密封件收容于第一凹槽内，第二密封件收容于第二凹槽内。本发明的实施例提供的充分密封分隔所述通道，避免处理腔室与外部空间或装置交叉污染，降低了系统的维护成本，提高了晶圆的处理良率。本发明还提供一种具有上述狭缝阀的晶圆处理系统。 | ||
| 搜索关键词： | 狭缝 处理 系统 | ||
【主权项】：
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