[发明专利]一种酸性铜蚀刻液的生产工艺

摘要

本发明公开了一种酸性铜蚀刻液的生产工艺，所述工艺包括以下步骤：第一步：将纯水进行低温处理，使纯水温度≤10℃在纯水罐中备用；第二步：配制和准备原料，将亚氨基二乙酸、氢氟酸和乙醇酸分别投入对应的原料罐中，经过过滤器循环过滤，备用；将HNO3、四甲基氢氧化铵、H2O2分别投入对应的原料罐，备用；第三步：根据混酸配制表算出各个原料的添加量，按照纯水→亚氨基二乙酸→氢氟酸→HNO3→四甲基氢氧化铵→乙醇酸的顺序依次将原料加入调配罐，将上述混料充分搅拌，搅拌时间为3～5h；第四步：在第三步的混料中再添加H2O2，继续搅拌混匀，搅拌时间为3～5h，用磁力泵将混合液通过过滤器循环过滤。本发明提供的铜蚀刻液大规模量产工艺，温控严格，生产过程中安全性高。