[发明专利]一种DES线显影装置及显影方法有效
| 申请号： | 202010044733.0 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN111190330B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 江培来;黄坤;董友鑫;毛泽亮 | 申请（专利权）人： | 江苏本川智能电路科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H05K3/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种DES线显影装置，包括串联设置的第一显影腔室、第二显影腔室和第三显影腔室，所述第一显影腔室设置有若干列扇形的第一喷嘴，相邻两列第一喷嘴的安装高度不同；所述第二显影腔室内设置有若干列锥形的第二喷嘴，相邻两列的第二喷嘴交错设置；所述第三显影腔室顶部设置有圆盘，圆盘上均匀设置有若干个柱形的第三喷嘴，第三显影腔室侧壁设置有排气管，第三显影腔室底部设置有排液管；第一喷嘴底部设置有封板，封板上开设有狭缝，封板上设置有若干个喷头，喷头中心设置有一个主流道，主流道的侧壁均匀连接有若干个副流道。本发明能够改进现有技术的不足，提高了显影液与油膜接触的充分性和均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 des 显影 装置 方法 | ||
【主权项】：
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