[发明专利]抗反射用硬掩模组合物在审
| 申请号： | 202010037447.1 | 申请日： | 2020-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN111458981A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 崔相俊;金完郁 | 申请（专利权）人： | OLAS有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国忠清南道天安市东*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
提供一种抗反射硬掩模组合物，包含(a)由以下述化学式1表示的聚合物或包含其的聚合物混合物(blend)；及(b)有机溶剂，[化学式1] |
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| 搜索关键词： | 反射 用硬掩 模组 | ||
【主权项】：
暂无信息
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