[发明专利]薄膜热导率的测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 202010037110.0 | 申请日： | 2020-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN111157573B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 许威;王晓毅;赵晓锦;杨亚涛 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 涂年影 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜热导率的测量装置及测量方法，采用硅基板作为测量装置的基座，多个薄膜微桥平行架设于刻蚀槽上以组成测量微结构装置，以复现微型电子器件的实际工作过程，以此测量得到微型电子器件工作过程中薄膜材料的热导率。本发明的薄膜热导率的测量装置及测量方法，可在复现微型电子器件的实际工作过程的情况下，对薄膜材料的热导率进行精准测量，以将测量结果作为对薄膜材料进行实际应用的准确参考，解决了传统测量装置对薄膜材料的热导率进行测量时存在的测量不准确的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 热导率 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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