[发明专利]X/Y应力独立电阻器的跟踪温度补偿

摘要

本申请公开X/Y应力独立电阻器的跟踪温度补偿。集成电路(500)包括具有表面的半导体衬底(570)。横向电阻器布置在平行于衬底的表面的第一平面中。竖直参考电阻器包括层(560)，该层(560)布置在平行于衬底的表面并且比第一平面深的第二平面中。掺杂该层以促进电流在第二平面中流动。竖直参考电阻器还包括耦合在该层和衬底的表面之间的第一沟槽(550A)和第二沟槽(550B)。第一沟槽和第二沟槽布置在正交于第一平面和第二平面的竖直方向上，并且被掺杂以阻碍电流在竖直方向上流动。第一沟槽和第二沟槽的横截面绕竖直方向是双重旋转对称的，并且横向电阻器以及第一沟槽和第二沟槽具有相同的温度系数。